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　亚傅体育体牌网站的推力波动较大，限制其在超精密领域的应用。推力中的谐波是无铁心永磁同步亚傅体育体牌网站推力波动的主要原因之一，消除推力中的部分谐波可以有效降低推力波动。该文建立了无铁心永磁体同步亚傅体育体牌网站推力谐波的解析模型，揭示了结构参数与推力波动间的关系，并提出了低推力波动亚傅体育体牌网站的设计准则。将设计准则应用于一类亚傅体育体牌网站的优化设计中，提出了消除推力中特定阶性谐波的结构参数设计方法。设计结果与有限元仿真结果和实验结果进行比对，验证了解析模型的准确性和设计方法的有效性。

      采用多个亚傅体育体牌网站驱动动台的六自由度运动[3]，其长行程运动中的高加速度和高精度推力均由亚傅体育体牌网站提供。这种结构避免了粗动台与微动台的叠层结构，仅包含一个台体及其附件，能够大幅降低动台质量，一般小于 20kg。但亚傅体育体牌网站的推力波动大的特性会影响粗微动一体掩模台的精度。相比于有铁心

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　　亚傅体育体牌网站，无铁心亚傅体育体牌网站没有齿槽力，推力波动较小，更适合作为粗微动一体掩模台的驱动电机。

　　无铁心永磁同步亚傅体育体牌网站结构模型如。线圈阵列固定不动，永磁体阵列运动。全局坐标系 YOZ 固定在线圈阵列上，相对坐标系 Y¢O¢Z¢固定在永磁体阵列上，两个坐标系间的平移矢量为

　　
        推力中的谐波成分越多，谐波造成的推力波动越大；推力中的谐波幅值为零的阶次越多，谐波造成的推力波动越小。由式(1)可以得到一个重要的结论，推力中第 n 阶谐波的幅值仅由电流密度和磁化强度的第 n 阶傅里叶系数 Jxn、(Myn+jMzn)确定，与其他阶次的傅里叶系数无关。进一步观察式（1），电流密度与磁化强度的第 n 阶傅里叶系数为乘积关系，通过结构设计使得两者中的任一为零时，推力中第 n 阶谐波的幅值即为零。因此，为了最大程度降低谐波对于推力波动的影响，提出两条低推力波动亚傅体育体牌网站设计准则：

　　准则 1：电流密度与磁化强度傅里叶系数为零的阶次尽可能多。

　　准则 2：电流密度与磁化强度傅里叶系数不为零的阶次尽可能不同。

　　设计准则同样适用于无铁心永磁同步平面电机。本文中的研究以单面永磁体的亚傅体育体牌网站为例，使用叠加原理可以将研究结果扩展应用于双面永磁体的亚傅体育体牌网站。